RSM-750PL
電漿原理
在高壓電源的激勵下，使壓縮空氣、氧氣等工藝氣體在大氣環境下電離產生等離子體，並直接作用在產品表面進行清洗，可改善板面的潔淨度與濕濡性，以提高各種製程的良率。
詳細資料
設備特點
- 1. 可搭配機械手臂，針對立體表面作清潔。
- 2. 單獨搭配XY Table，可處理平面狀樣品。
- 3. 可以與線上作搭配，在線上（In-Line）作業。
- 4. 只需使用空氣（CDA）即可。
- 5. 可短時間作開關的動作。
- 6. 穩定性與清潔效果佳。
電漿JET閥
- 1. 可處理的面積為Ø 35 mm。
- 2. 表面清潔的處理速度非常快，可高達150~250 mm/sec。
- 3. 樣品離電漿出口的距離約為8~12 mm。
相關應用
手機/平版/筆電/液晶/車載面板、建築牆面玻璃、白板玻璃、防爆玻璃...等
